微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。 A.离子束刻蚀、激光刻蚀 B.干法刻蚀、湿法刻蚀 C.溅射加工、直写加工 正确答案：B

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（） A.电子束曝光技术 B.离子束曝光技术 C.X射线曝光技术 正确答案：C